EL
triple haz de Hitachi. Haz FE de electrones para la obtención de imágenes SEM.
Haz de Galio para los trabajos realizados en FIB, eliminación de material y
deposición de material. Y gracias a su tercer haz de Ar la obtención de lamelas
perfectas sin degradación debida a la alta agresividad del Ga.
Resolución
SEM
- 1.5 nm (1 kV)
- 0.7 nm (15 kV)
Resolución
FIB
- 4 nm(30 kV)
- 60 nm (2 kV)
