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IESMAT 9 Equipos 9 HEM 6000

HEM 6000

CIQTEK HHEM6000 es un microscopio electrónico de barrido pultraalta velocdad con una resolución innovadora de hasta 1,5 nm a 1 kV

Microscopio electrónico de barrido de alta velocidad para imágenes a escala cruzada de muestras de gran volumen.

CIQTEK HEM6000 incorpora tecnologías como el cañón de electrones de corriente de haz grande y alto brillo, el sistema de desviación del haz de electrones de alta velocidad, la desaceleración de la etapa de muestra de alto voltaje, el eje óptico dinámico y el objetivo combinado de inmersión electromagnética y electrostática. para lograr la adquisición de imágenes de alta velocidad y al mismo tiempo garantizar una resolución a nanoescala.

El proceso de operación automatizado está diseñado para aplicaciones como un flujo de trabajo de imágenes de alta resolución de áreas grandes más eficiente e inteligente. La velocidad de obtención de imágenes puede alcanzar más de 5 veces más que la de un microscopio electrónico de barrido por emisión de campo convencional (FESEM).

  • Alta velocidad de adquisición de imágenes: Puede alcanzar una velocidad de adquisición de imágenes de más de 5 veces la de un microscopio electrónico de barrido de emisión de campo convencional (FESEM).
  • Sistema de deflexión de haz de electrones de alta velocidad: Permite una alta resolución en un campo de visión grande, con un máximo de 64 µm x 64 µm a 4 nm por píxel.
  • Tecnología de deceleración de la muestra: Reduce el voltaje de aterrizaje de los electrones incidentes, aumentando la eficiencia de captura de electrones de señal.
  • Lente objetiva combinada electromagnética y electrostática: Contribuye a una imagen de alta resolución con baja aberración.
  • Sistema de filtrado de señales de electrones: Permite la conmutación libre de señales SE/BSE y la mezcla con una proporción ajustable.
  • Automatización: Proceso automatizado de carga y descarga de muestras y adquisición de imágenes, lo que mejora la eficiencia del flujo de trabajo.

Estas características hacen que el HEM6000 sea ideal para aplicaciones que requieren imágenes de alta resolución y gran área de manera eficiente y rápida

El microscopio electrónico de barrido de alta velocidad HEM6000 de CIQTEK también cuenta con características avanzadas en cuanto a la eliminación de efectos de reflejos:

  • Sistema de deflexión del haz de alta velocidad: Utiliza un sistema completamente electrostático que permite obtener imágenes de alta resolución en campos de visión grandes, con un máximo de 32 µm x 32 µm a 4 nm por píxel
  • Tecnología de desaceleración de la muestra: Reduce la tensión de aterrizaje de los electrones incidentes, lo que aumenta la eficiencia en la captura de electrones de señal
  • Lente de objetivo combinada electromagnética y electrostática: El campo magnético de la lente de objetivo sumerge la muestra, contribuyendo a obtener imágenes de alta resolución con baja aberración
  • Estas características permiten al HEM6000 manejar de manera efectiva los reflejos, mejorando la calidad de las imágenes obtenidas.
Especificaciones técnicas HEM6000-Semi HEM6000-Bio HEM6000-Lite
Óptica de electrones Resolución 1,5 nm@1 kV SE 1,8 nm@1 kV BSE 1,5 nm@15 kV BSE
Tensión de aceleración 0,1 kv~6 kV (modo de desaceleración) 6 kV~30 kV (modo sin desaceleración) 6 kV~30 kV
Ampliación 66~1.000.000x
Haz de electrones Cañón de electrones de emisión de campo Schottky de alto brillo
Tipo de lente objetiva Lente objetiva combinada electromagnética y electrostática de inmersión
Deflector electrostático Cinco etapas Cuatro etapas Cuatro etapas
Sistema de carga de muestras Sistema de vacío Sistema de vacío sin aceite totalmente automático
Monitorización de muestras Cámara de monitorización horizontal de la cámara principal; cámara de monitorización vertical de la cámara de carga de intercambio de muestras
Tamaño máximo de la muestra 4 pulgadas de diámetro
Tipo de mesa de muestras Mesa de muestras motorizada de 3 ejes (*plataforma de muestras piezoeléctrica opcional)
Recorrido de la platina de muestras X; Y: 110 mm; Z: 16 mm
Repetibilidad de la platina de muestras X:±0,6 μm Y:±0,3 μm
Intercambio de muestras Totalmente automático
Duración del intercambio de muestras <15 minutos
Limpieza de la cámara Loadlock Sistema de limpieza de plasma totalmente automático
Adquisición y procesamiento de imágenes Tiempo de permanencia 10 ns/píxel
Velocidad de adquisición 2*100 M píxel/s
Tamaño de imagen 16 K*16 K
Detector y accesorios Detector de electrones retrodispersados retráctil de ángulo bajo Opcional Ninguno Estándar
Detector de electrones retrodispersados de ángulo bajo montaje inferior Opcional Estándar Ninguno
Detector de electrones totales en columna Estándar Opcional Opcional
Detector de electrones retrodispersados de alto ángulo en columna Opcional Opcional Opcional
Platina piezoeléctrica para muestras Opcional Opcional Opcional
Modo FOV grande de alta resolución (SW) Opcional Ninguno Ninguno
Sistema de limpieza por plasma de la cámara Loadlock Opcional Opcional
Sistema de carga de muestras de 6 pulgadas Opcional Opcional Opcional
Plataforma antivibración activa Opcional Opcional Opcional
Reducción de ruido Al; cosido de campo de área grande; reconstrucción 3D Opcional Opcional Opcional
Interfaz del usuario Idioma Inglés
SO Windows
Navegación Navegación óptica, navegación por gestos
Función automática Reconocimiento automático de muestras; selección automática del área de imagen; brillo y contraste automáticos; enfoque automático; estigmatizador automático

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