NX9000
- La columna SEM y la columna FIB están dispuestas ortogonalmente para optimizar el posicionamiento de la columna para el análisis estructural 3D.
- La combinación de una fuente de electrones de emisión de campo frío de alto brillo y una óptica de alta sensibilidad respaldan el análisis de una amplia gama de materiales, desde tejidos biológicos hasta materiales magnéticos.
- El sistema de micromuestreo y el sistema de triple haz permiten la preparación de muestras de alta calidad para aplicaciones de sonda atómica y TEM
| Elementos | Descripción | |
| SEM | fuente de electrones | Fuente de emisión de campo de cátodo frío |
| Tensión de aceleración | 0,1 – 30 kV | |
| Resolución | 2,1 nanómetro a 1 kV | |
| 1,6 nanómetro a 15 kV | ||
| MENTIRA | fuente de iones | Fuente de iones de metal líquido Ga |
| Tensión de aceleración | 0,5 – 30 kV | |
| Resolución | 4,0 nanómetro a 30 kV | |
| Corriente máxima de sonda | 100 nA | |
| Detector estándar | SED en columna/BSED en columna/SED de cámara | |
| Escenario | X | 0 – 20mm *2 |
| Y | 0 – 20mm *2 | |
| Z | 0 – 20mm *2 | |
| θ | 0 – 360° *2 | |
| τ | -25 – 45° *2 | |
| Tamaño máximo de muestra | 6 mm x 6 mm, 2 mm de espesor | |
