SU8700
Capacidad analítica y de ultra alta resolución
- El emisor Schottky de Hitachi proporciona imágenes de ultra alta resolución y microanálisis ultrarrápidos con alta corriente de sonda.
- Su capacidad de formación de imágenes de 0,1 kV sin polarización de etapa amplía el rango de aplicación para muestras sensibles al haz.
- Hay una multitud de detectores y opciones disponibles para adaptarse mejor a las necesidades de cualquier usuario.
- Experiencia de usuario mejorada con automatización avanzada
- La opción de software «»EM Flow Creator»» permite a los usuarios configurar secuencias de operación SEM repetibles.
- Se pueden ensamblar varias funciones SEM en la ventana de EM Flow Creator mediante un método de arrastrar y soltar y luego guardarlas como una receta para su uso posterior.
- Una vez que se configura una receta, la recopilación de datos automatizada bajo las condiciones establecidas se puede realizar con alta precisión y repetibilidad.
- Nuevas funciones de pantalla e interfaz
- La configuración de dos monitores admite un espacio de trabajo flexible y altamente eficiente.
- Muestra y guarda 6 señales simultáneamente para adquirir más información en menos tiempo.
- Adquiera hasta 40 960 x 30 720 píxeles de información de alta resolución.
| Aumento | Resolución de imagen de electrones secundarios | 0,8 nanómetro a 15 kV |
| 0,9 nanómetro a 1 kV | ||
| Aumento | 20 a 2,000,000x | |
| Pistola de electrones | Emisor Schottky | |
| Voltaje de aceleración | 0,1 a 30 kV | |
| Voltaje de aterrizaje | 0,01 a 7 kV | |
| Corriente de sonda | máx. 200 nA | |
| Detectores | Detectores estándar | Detector superior (UD) |
| Detector Inferior (LD) | ||
| Detectores de opciones | Detector medio (MD) | |
| Tipo de semiconductor BSED (PD-BSED) | ||
| Detector de presión ultravariable (UVD) | ||
| Detector de tallo | ||
| Accesorios opcionales | Espectrómetro de rayos X de dispersión de energía (EDS) | |
| Detector de difracción de retrodispersión de electrones (EBSD) | ||
| Modo de presión variable | Rango de vacío | 5~300Pa |
| Etapa del espécimen | control de escenario | Motor de 5 ejes |
| Rango móvil | ||
| X | 0 a 110 mm | |
| Y | 0 a 110 mm | |
| Z | 1,5 a 40 mm | |
| T | -5 a 70° | |
| R | 360° | |
| Cámara de muestras | Tamaño de muestra | máx. φ150 mm |
