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IESMAT 9 Equipos 9 TM4000Plus

TM4000Plus

Microscopio de mesa

1.La nueva pistola de iones de alta densidad permite que la IM4000Plus logre una velocidad de fresado de 500 µm/h
2.Capacidad avanzada de reducción de daños térmicos mediante la función de irradiación intermitente de haz de iones
3.El nuevo sistema criogénico con control de temperatura preciso (opción)

1)Si sobresale 100 µm del borde de la máscara
2)La irradiación intermitente del haz de iones disponible con los sistemas de fresado de sección transversal y de fresado plano
3)El nuevo sistema criogénico está disponible solo con el fresado de sección transversal

Se puede obtener una imagen de calidad con simples pasos:

  • Automatización, Observación y Análisis Elemental
  • Operación intuitiva en Camera Navi
  • El uso de imágenes ópticas ayuda a navegar fácilmente al área de observación objetivo.
  • Las imágenes SEM obtenidas se pueden superponer en una imagen SEM MAP.
  • Creador de informes
  • Simplemente seleccione imágenes y una plantilla para crear informes personalizados.
  • Los informes creados se pueden guardar/editar en formatos de Microsoft.
Nombre del modelo TM4000Plus II TM4000II
Ampliaciones 10× – 100 000× (ampliación fotográfica)
25× – 250 000× (ampliación de la pantalla del monitor)
Tensión de aceleración 5 kV, 10 kV, 15 kV, 20 kV
Señal de imagen Electrón retrodispersado
Electrón secundario
Mezcla (electrón retrodispersado + electrón secundario)
electrón retrodispersado
Modo de vacío BSE: Conductor/Estándar/Reducción de carga
SE: Estándar/Reducción de carga
Mezcla: Estándar/Reducción de carga
BSE: Estándar/Reducción de carga
Travesía de escenario de muestra X: 40 mm, Y: 35 mm
Tamaño máximo de muestra 80 mm (diámetro), 50 mm (grosor)
Pistola de electrones Filamento de tungsteno de cartucho precentrado
Sistema de detección de señal Detector BSE de 4 segmentos de alta sensibilidad
Detector SE de bajo vacío y alta sensibilidad (UVD)
Detector de BSE de 4 segmentos de alta sensibilidad
Sistema de evacuación
(bomba de vacío)
Bomba turbomolecular: 67 L/s×1 unidad
Bomba de diafragma: 20 L/min×1 unidad
Tamaño / peso Unidad principal (platina motorizada): 330 (ancho) × 614 (profundidad) × 547 (alto) mm, 54 kg
Unidad principal (platina manual): 330 (ancho) × 617 (profundidad) × 547 (alto) mm, 54 kg
Bomba de diafragma: 144 (ancho) × 270 (profundidad) × 216 (alto) mm, 5,5 kg

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