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MAG*I*CAL® estándar de referencia de magnificación para TEM
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Descripción
MAGICAL® es un estándar de calibración para TEM directamente trazable a la constante reticular del silicio 〈111〉 = 0,3135428 nm, visible en la propia muestra. El espécimen consiste en una sección transversal electrónica-transparente fabricada sobre una oblea monocristalina (MBE) con capas alternas de Si/SiGe que se observan como franjas claras y oscuras de espesor calibrado (típicamente ±1,4%).
Con un único patrón puede realizar:
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Calibración de aumentos en todo el rango del TEM.
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Determinación del constante de cámara mediante difracción de electrones.
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Ajuste de rotación entre imagen y patrón de difracción.
El diseño incluye una perforación central de 1 mm y cuatro zonas con marcas de calibración, además de un patrón Kikuchi del monocristal que facilita la alineación. Para minimizar el error de medida, se recomienda medir distancias grandes claramente visibles (p. ej., varias capas a la vez en alto aumento). En definitiva, un único estándar cubre todas las calibraciones mayores del TEM con trazabilidad ininterrumpida a una constante física fundamental.
Especificaciones técnicas
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Tipo de muestra: sección transversal TEM de monocristal de silicio con capas Si/SiGe (MBE).
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Trazabilidad: directa a la constante reticular del Si 〈111〉 = 0,3135428 nm (medible en la muestra).
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Aplicaciones de calibración: aumento TEM (≈1.000×–1.000.000×), constante de cámara (difracción) y rotación imagen/difracción.
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Exactitud de los espesores de capa: ±1,4 % (valores calibrados).
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Geometría del portamuestras: rejilla con perforación central de 1 mm y 4 regiones con marcas de calibración.
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Guía de medida: para mayor precisión, medir la mayor distancia claramente visible (conjunto de capas) en lugar de capas individuales.
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Contenido / referencia: MAGICAL® 675, unidad (each).
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Compatibilidad: TEM/STEM con capacidad de imagen y difracción.
