FIB / FIB-SEM
Focused Ion Beam Scanning Electron Microscopes
FIB son las siglas de Focused Ion Beam.
Esta técnica está ampliamente asentada en semiconductores, ciencia de
materiales y aplicaciones biológicas. El fundamento es similar al SEM, salvo
que en este caso el haz de electrones se sustituye por un haz de iones
(generalmente galio) para generar imágenes, eliminar material o realizar cortes
en la muestra en función de la intensidad empleada.
Los FIB-SEM combinan ambas tecnologías, en el caso de los FIB-SEM de Hitachi nos encontramos con un sistema de triple haz que permite las máximas prestaciones en ambas técnicas. De forma simultánea se puede estudiar la estructura 3D de una muestra combinando el FIB con el FE-SEM característico de Hitachi de las más altas prestaciones.
