FIB / FIB-SEM


Focused Ion Beam Scanning Electron Microscopes
FIB se utiliza para observar la estructura de la superficie mediante la detección de electrones generados por la irradiación del haz de iones y procesar la superficie de una muestra a una forma arbitraria mediante el uso del haz de iones enfocado. FIB-SEM incorpora FIB y SEM en un solo sistema, y permite la observación SEM in situ de la sección transversal preparada con FIB. Consigue recopilar y reconstruir para un análisis estructural tridimensional adicional de la muestra.